超大幅面全固态Nd:YAG激光标刻机的研制

• 作者: 李伟 李凯 王菲 闫钰峰 麻宏宇
• 来源期刊: 长春理工大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 激光标刻 全固态Nd:YAG激光器 两轴联动工作台
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 页码范围: 68-70,67
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 2189字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9870.2008.04.021

摘要

研制了一台超大幅面全固态激光标刻机,该系统主要由光纤耦合输出的全固态激光器、两轴联动工作台和控制系统等组成,详细介绍了两轴联动工作台的设计及其控制系统.通过高精度机械传动部件实现激光束与工件的相对运动,由传能光纤输出的高能量激光对工件进行标刻,不仅可以实现大范围、高精度标刻,而且输出激光稳定、能量转换效率较高,能够实现高质量的标刻.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王菲	长春理工大学光电工程学院	32	97	6.0	7.0
2	闫钰峰	长春理工大学光电工程学院	4	7	2.0	2.0
3	李凯	长春理工大学光电工程学院	3	5	1.0	2.0
4	李伟	长春理工大学光电工程学院	18	21	3.0	3.0
5	麻宏宇	长春理工大学光电工程学院	2	5	1.0	2.0