355nm和1064nm全固态激光器刻蚀印刷线路板

• 作者: 张菲 曾晓雁 李祥友 段军
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光加工 全固态激光器 激光刻蚀 印刷线路板 紫外激光
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 1637-1643
• 页数: 7页
• 分类号: TN249
• 字数: 4056字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.10.040

摘要

采用输出功率8 W的355 am Nd:YVO4紫外激光器和50 w的1064 nm Nd'YAG激光器对覆铜板(CCL)和柔性线路板(FPC)进行了刻蚀实验,研究了激光功率密度、重复频率、扫描速度和单脉冲能量等加工工艺参数对刻蚀质量的影响.实验结果表明,由于铜和聚合物材料对紫外激光有更高的吸收率,紫外波段的激光只需要较低的能量就可以将表面铜层刻蚀完全,并且引起的热作用也较小.相反,红外激光加工最大的优势就是对环氧树脂和聚酰亚胺基板的破坏较小,从而适合于表面铜层的去除加工.与此同时,355 nm紫外激光器由于能快速轻易地将厚聚合物基板分离,更适合于印刷线路板(PCB)的切割成型加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李祥友	华中科技大学武汉光电国家实验室	25	357	11.0	18.0
2	曾晓雁	华中科技大学武汉光电国家实验室	144	2006	25.0	36.0
3	段军	华中科技大学武汉光电国家实验室	20	176	8.0	13.0
4	张菲	华中科技大学武汉光电国家实验室	11	80	6.0	8.0