干涉条纹小数的测量

• 作者: 余晓曦 李小林 黄晓荣
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 一等量块 干涉条纹小数 暗条纹中心 测量定位
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量基础理论
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TB921
• 字数: 3891字
• 语种: 中文

摘要

对高精度干涉条纹小数测量的方法进行了系统的介绍.就干涉条纹小数的定义、暗条纹中心的确定、量块中心长度测量的起始和终了位置进行了较全面的分析,实现了不确定度为2 nm的干涉条纹小数的测量.引用实验与国际比对结果理论分析予以验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余晓曦		9	16	2.0	3.0
2	黄晓荣		5	6	2.0	2.0
3	李小林		4	5	2.0	2.0