超轻超薄反射镜制造过程中的变形控制研究

• 作者: 余景池 郭培基 黄启泰
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 空间光学 超薄镜 加工工艺 变形控制
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 先进光学制造技术
• 页码范围: 128-133
• 页数: 6页
• 分类号: TH161+.1
• 字数: 4167字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2008.08.026

摘要

针对超轻超薄反射镜(超薄镜)径厚比大,自身刚度小、单独加工难度大的问题,采用基底支撑方式对超薄镜进行加工.我们研究了在加工过程中粘接,温度、应力等因素所导致的超薄镜变形的控制手段并对变形控制效果提出了评判方法.通过195 mm口径超薄铣工艺实验对控制变形的工艺进行改进,用改进后的加工工艺进行了340 mm口径的超薄镜制造,得到了比较理想的面形,下盘后PV值5.74λ,RMS值1.02λ(λ=632.8 nm).这表明在超薄镜制造过程中变形控制的技术方案可行,工艺改进方向正确.同时,实验结果表明,超薄镜制造过程中的变形最终表现为镜面出现非重力因素引起的像散.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄启泰	苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室	7	96	6.0	7.0
2	郭培基	苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室	25	387	12.0	19.0
3	余景池	苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室	41	634	17.0	23.0