硬质合金表面硬质薄膜的制备和性能分析

• 作者: 刘志远 曹晓英 栾道成 赵广彬 陈甥怡
• 来源期刊: 西华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: TiN薄膜 XRD 结合力 显微硬度
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与成型技术
• 页码范围: 92-94
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2211字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-159X.2008.02.029

摘要

利用热阴极离子镀技术改变主弧电流,控制镀膜时间等参数,在硬质合金基体上制备了TiN薄膜;利用XRD、自动划痕仪、SEM和显微硬度计对所制备的样品进行了结构分析和性能检测.结果表明,生成的膜层是单一的TiN薄膜,所得膜层晶体是细小的柱状晶,膜基结合力最小77N,最大可达98N,显微硬度最高可达HV2757.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	栾道成	西华大学材料科学与工程学院	102	687	13.0	20.0
2	赵广彬	西华大学材料科学与工程学院	24	89	6.0	7.0
3	曹晓英	西华大学材料科学与工程学院	4	13	2.0	3.0
4	陈甥怡	西华大学材料科学与工程学院	4	13	2.0	3.0
5	刘志远	西华大学材料科学与工程学院	3	10	2.0	3.0