基于光纤的三维电子散斑干涉测量系统设计

• 作者: 于瀛洁 周文静
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电子散斑干涉技术 三维变形测量 系统设计 分束光纤 相移技术
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1815-1821
• 页数: 7页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 2645字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.10.005

摘要

为了实现物体三维变形非接触式测量,设计了基于电子散斑干涉技术的三维变形测量系统.该系统采用了一分五型分束光纤,这根光纤在系统中起到分光和传光的作用,使系统所需器件比一般的设计系统要少.为了获得变形的量化数值,系统将电子散斑技术与相移技术结合在一起,由压电陶瓷引入相移,并采用"4+1"相移算法计算变形量.该系统可以实现面内及离面变形的独立测量,进而实现物体三维变形的测量.文中对带缺陷的木板进行了加热变形测量,检测其面内、离面变形的敏感度;然后对钢板进行了应力三维变形的测量.得其离面变形量为5μm.结果表明,设计的测量系统可以实现各种变形的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于瀛洁	上海大学精密机械工程系	80	791	16.0	24.0
2	周文静	上海大学精密机械工程系	24	189	9.0	13.0