用纳秒激光在镜面不锈钢表面刻蚀微光栅结构

• 作者: 周云 张恒 方宗豹 陈林森
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 激光技术 纳秒激光 微光栅结构 刻蚀 镜面不锈钢
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 448-451
• 页数: 4页
• 字数: 1322字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.03.028

摘要

研究了利用波长为532 nm的激光二极管抽运全固态激光器(DPSSL),采用双光束干涉手段,在镜面不锈钢表面直接刻蚀形成微光栅结构(MGS)的方法.通过实验,分析了激光功率、光束口径、双光束干涉角与光栅槽深和占宽比之间的关系.利用光学显微镜和原子力显微镜(AFM)对实验结果的检测分析表明,在激光功率为45 mW,双光束干涉角为20°的条件下,得到光栅周期为1.34 μm,槽深为300 nm的最佳微光栅结构.同时,在适当激光功率下,增加光栅周期,增加光束口径都能提高光栅槽深.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈林森	苏州大学信息光学工程研究所	81	469	12.0	17.0
2	周云	苏州大学信息光学工程研究所	86	443	12.0	18.0
3	张恒	苏州大学信息光学工程研究所	9	32	4.0	5.0
4	方宗豹	苏州大学信息光学工程研究所	5	16	2.0	4.0