铝表面磁控溅射沉积不锈钢薄膜及其性能

• 作者: 左秀荣 李勇 王齐伟 黄晓辉
• 来源期刊: 特种铸造及有色合金
• 关键词: 直流反应磁控溅射 铝箔 不锈钢 薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 轻有色合金
• 页码范围: 770-773
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.2+1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3870/tzzz.2009.08.026

摘要

在铝箔表面采用直流反应磁控溅射方法进行溅射试验,在铝箔表面沉积出不锈钢薄膜.采用磨损试验、盐雾试验、显微硬度试验和薄膜厚度测试等方法对试样进行检测,用扫描电镜和金相显微镜对试样表面形貌观察分析.试验结果表明,溅射功率选择在300 W时,在铝箔表面沉积不锈钢薄膜,铝箔表面耐磨性增大,硬度增大,沉积的不锈钢薄膜晶粒尺寸细小、均匀致密,表面呈金属光泽,薄膜与基体结合良好,并具有一定的耐蚀性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李勇	郑州大学材料物理教育部重点实验室	79	242	9.0	13.0
2	左秀荣	郑州大学材料物理教育部重点实验室	74	576	14.0	21.0
3	黄晓辉	郑州大学材料物理教育部重点实验室	10	42	4.0	6.0
4	王齐伟	郑州大学材料物理教育部重点实验室	7	49	4.0	7.0