基于偏振相移的干涉条纹细分原理

• 作者: 刘晓军 宋浩
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉条纹 细分 位移传感器 偏振相移 分辨率
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TH211
• 字数: 2238字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2008.06.002

摘要

基于偏振相移和相关分析,提出一种高分辨率、方便实现的干涉条纹细分原理.该原理将细分环节由电子线路信号处理部分向前移,通过干涉条纹强度分布综合信息的分析与处理来实现,即通过具有高分辨率的偏振相移操作,对干涉相位进行相位调控,使干涉条纹强度分布回到位移起始时的状态,则与相位调控量对应的光程,即为位移的λ/2小数倍部分.由于偏振相移采用具有极大放大倍数的硬件机械运动实现,因而能取得可靠的高分辨率细分.理论分析和模拟结果显示,该干涉条纹细分原理可容易地达到nm级细分分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓军	华中科技大学机械科学与工程学院	60	357	11.0	15.0
2	宋浩	华中科技大学机械科学与工程学院	3	11	2.0	3.0