基于纳米定位的压电陶瓷驱动器二进制控制

• 作者: 孙树峰
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷驱动器 二进制控制 纳米定位
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 压电及其他功能器件
• 页码范围: 294-296
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 1189字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2008.03.013

摘要

由于压电陶瓷驱动器(PZTA)具有体积小、位移输出精度高等优点,因而它在超精密定位和微机电系统(MEMS)中得到了广泛的应用,但其本身固有的非线性和迟滞等缺陷,降低了其位移输出精度.为了克服这些缺陷,采用开环二进制控制原理控制PZTA,不仅可以有效地克服其非线性和迟滞缺陷,使PZTA的位移输出精度达到±26.9 nm,而且无需反馈控制回路和检测元件,使控制系统结构简单,降低了成本,便于集成到MEMS中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙树峰	温州大学机电工程学院	9	65	5.0	8.0