可调波长半导体激光法布里-珀罗干涉仪

• 作者: 孙文科 李岩 许婕 马骥驰
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米测量 法布里-珀罗(F-P)干涉仪 非线性误差校准 可调谐半导体激光
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 1296-1300
• 分类号: TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2008.07.015

摘要

为了对激光十涉仪、高精度位移传感器等测量系统进行纳米级精度的非线性误差校准,需进一步提高中国计量科学研究院与清华大学合作研制的差拍F-P 干涉仪的线性度、稳定性及测量范围.在合理分析空气折射率变化及He-Ne激光器纵模调谐范围等因素对测量的影响基础上,设计并制作了密封干涉光路的真宅系统,并用调谐范围较大的半导体激光器作为工作激光器.实验结果表明,系统在大于1/4波长的行程范围内的线性度有明显的提高,最大非线性误差由8.93 nm减小至1.19 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李岩	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	75	955	17.0	28.0
2	许婕		10	134	8.0	10.0
3	马骥驰	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	2	23	2.0	2.0
4	孙文科	清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室	2	23	2.0	2.0