微型可编程光栅最大闪耀角的理论分析与实验

• 作者: 乔大勇 梁庆 王兰兰 苑伟政 虞益挺
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微型可编程光栅 闪耀角 表面微加工工艺
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 2220-2224
• 页数: 5页
• 分类号: TN303
• 字数: 2559字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2008.11.034

摘要

在微机电系统技术的基础上,采用两层多晶硅表面微加工工艺.设计并加工制作了一种闪耀角可调式的微型可编程光栅.介绍了微型可编程光栅的基本工作原理及结构设汁特点.针对其最主要的一个光学参量--最大闪耀角,根据设汁的光栅结构尺寸进行了理论计算,并利用ANSYS有限元仿真结合Matlab软件的数据处理功能进行了数值模拟.没计并搭建了一个简单易操作的光学实验系统,对最大闪耀角进行了实际测量.结果表明.理论计算、数值模拟以及实际测量的最大闪耀角非常吻合,制作的微型可编程光栅的最大闪耀角超过5°.