波导多层光卡的模压制作法

• 作者: 梁忠诚 王仁洲 顾敏芬
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 波导多层 光卡 模压法 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 447-448
• 页数: 2页
• 分类号: TP333
• 字数: 733字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.04.006

摘要

提出了波导多层光卡的一种模压制作方法.该方法以聚碳酸脂(PC)作为芯层,聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为包层.首先通过传统的光刻过程制作带有信息的金属母板,然后用金属母板在PC表面压印信息坑,再在PC薄膜表面均匀地旋涂PDMS使之形成复合片,最后将多个复合片叠合在一起形成波导多层光卡.通过光源侧向耦合实验观察, 获得的光卡样品的数据图像清晰,表明这是一种可行的多层光卡制作方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁忠诚	南京邮电大学数理学院	86	385	10.0	15.0
2	顾敏芬	南京师范大学江苏省光电技术重点实验室	12	80	6.0	8.0
3	王仁洲	南京邮电大学数理学院	2	8	2.0	2.0