基于频闪干涉的微结构三维运动测量方法

• 作者: 史铁林 周明才 白金鹏 谢勇君
• 来源期刊: 测控技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微结构 频闪照明 显微相移干涉 相位去包裹
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 仪表与传感器
• 页码范围: 5-8
• 页数: 4页
• 分类号: TN4
• 字数: 3530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-8829.2008.06.002

摘要

微机电系统中微结构特征尺寸在微米亚微米,且谐振频率可达兆赫,对其进行动态测量困难.介绍了一种基于频闪照明与显微相移干涉原理的微结构三维运动测量方法,并给出了微镜的测量结果.测量结果可作为设计与制造工艺反馈.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史铁林	华中科技大学机械科学与工程学院	192	2245	25.0	38.0
2	白金鹏	华中科技大学机械科学与工程学院	6	114	4.0	6.0
3	谢勇君	华中科技大学机械科学与工程学院	8	118	4.0	8.0
4	周明才	华中科技大学机械科学与工程学院	5	136	4.0	5.0