国家同步辐射实验室反射率计误差分析

• 作者: 付绍军 刘正坤 刘颍 周洪军 干蜀毅 徐向东 洪义麟 霍同林
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 反射率计 同步辐射 反射率测量 误差分析
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 仪器、测量与计量
• 页码范围: 2136-2142
• 页数: 7页
• 分类号: TB96
• 字数: 3966字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2008.11.018

摘要

中国科技大学国家同步辐射实验室"光谱辐射标准与计量实验站"上的反射率计主要用于测量各种光学元器件在X射线、真空紫外波段的反射率.为保证测试结果的精确性和可靠性,在大量实验数据的基础上,结合必要的理论推导,对反射率计测试误差来源及影响程度进行了分析,确定影响反射率计测试精度的主要因素包括光源、探测器、样品安装等.总结了光源波动、探测器损坏的几种典型形式,定性、定量地分析了这些因素和样品安装、光斑尺寸对测试精度的影响,针对性地提出了应对办法,把测试误差控制在2%以内,从而有效地保证了测试精度.