沃拉斯顿棱镜可见光区减反射膜研制

• 作者: 刘涛 吴福全 宋连科 李国华 王召兵 郝殿中
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜光学 薄膜 沃拉斯顿棱镜 减反射膜 附着力 带宽
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 1143-1144
• 页数: 2页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1331字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.08.034

摘要

为了提高镀膜材料和冰洲石基底的附着力以及提高棱镜的透过比,拓宽有效使用带宽,借助于计算机辅助设计方法,设计了高性能多层减反射膜系;选用合适的光学薄膜材料,利用电子束蒸镀,借助于离子源辅助蒸镀,制作了高性能的宽带减反射膜.测试结果表明:e光,o光的平均剩余反射率小于0.5%,有效使用带宽覆盖可见光区;为了改善薄膜和基底间的附着力,采用Al2O3做过渡层.