激光光热控制触点开关式微驱动机构及实验研究

• 作者: 刘超 张冬仙 王乐妍 章海军
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 触点开关 微驱动机构 激光光热控制 准分子激光
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 1450-1453
• 页数: 4页
• 分类号: TH703
• 字数: 3306字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.11.006

摘要

提出了一种新型的激光光热控制触点开关式微驱动机构;对于驱动性能受到形状参数的影响进行了理论分析;采用KrF准分子激光器制备了两种不同长度的微驱动机构;自行搭建的激光光热控制实验系统,采用655nm红色激光作为驱动源,利用该实验系统进行了比较驱动实验,实验结果表明:触点偏转量随着驱动器臂长的增大而增大,同时对于相同长度的微驱动机构,触点偏转量随着驱动激光功率的增大而增大.该新型微驱动机构结构简单,制备快捷,可以采用激光对其实现远距离、非接触控制,集成度高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张冬仙	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	39	321	10.0	16.0
2	章海军	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	53	454	12.0	18.0
3	刘超	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	66	663	12.0	24.0
4	王乐妍	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	2	24	2.0	2.0