计及边缘效应的扭转微镜的动态特性分析

• 作者: 向宇 袁丽芸 陆静 马小强
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 扭转微镜 边缘效应 齐次扩容精细积分 非线性振动
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TP211
• 字数: 3023字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.09.003

摘要

基于计及边缘效应的矩形平行板的静电力计算公式,建立了扭转微镜的动力学模型,采用Rom-berg数值积分法计算驱动力,并借助迭代修正齐次扩容精细积分法求解非线性动力方程.数值计算结果表明:电压、微镜和电极的几何尺寸等参数都会影响微镜的边缘效应,从而使微镜的动态响应产生较大的误差,在分析微镜力学性能时应考虑边缘效应的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向宇	广西工学院汽车工程系	71	505	12.0	19.0
2	袁丽芸	广西工学院汽车工程系	20	95	6.0	8.0
3	陆静	广西工学院汽车工程系	24	88	6.0	8.0
4	马小强	广西工学院汽车工程系	18	139	8.0	11.0