基于吸收系数修正的硅片激光弯曲模拟与实验

• 作者: 吴东江 王续跃 胡亚峰 许卫星
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光弯曲 吸收系数 脉冲激光 硅片
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1928-1935
• 页数: 8页
• 分类号: TN249|TN305
• 字数: 4984字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.10.024

摘要

考虑热吸收系数随温度变化的因素,以硅为对象进行r激光弯曲模拟和实验.借助APDL语言编写了激光弯曲成形的仿真程序,对单脉冲作用过程进行模拟,以得到单点脉冲周期内的温度分布;采用NiCr/NiSi合金薄膜热电偶对单脉冲作用过程中的温度分布进行测量,对比上述的温度模拟与测量结果,修正硅材料的激光综合吸收系数为0.82.采用有限元分析软件实现了硅片的脉冲激光弯曲成形的仿真和模拟,并对硅片多次连续扫描的弯曲模拟与弯曲实验进行对比,误差仅为0.1°,验证了仿真程序的有效性,为硅片的激光弯曲成形提供了理论与实验依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴东江	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	63	533	14.0	20.0
2	王续跃	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	87	426	10.0	15.0
3	胡亚峰	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	2	15	2.0	2.0
4	许卫星	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	4	41	4.0	4.0