化学溶液沉积法制备涂层导体阻隔层用钨盐前驱体的制备和筛选

• 作者: 卢亚锋 张国防 李成山 杨伟波 阎果 马高峰
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 物理学
• 关键词: 涂层导体阻隔层 化学溶液沉积法 钨盐前驱体 制备 筛选
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 366-368
• 页数: 3页
• 分类号: O482.5

摘要

制备了[（n—C4H9）4N]2[W6O19]、过氧钨酸衍生物（APTA）和[（n-C8H17）2NH2]2[W4O13]3种有机钨盐，研究了这几种盐在不同溶剂中的溶解性、溶液的稳定性以及在钇稳定氧化锆（YSZ）基片上的润湿性。研究发现：[（n-C8H17）2NH2]2[W4O13]在丙酸中具有溶解性良好、溶液稳定性高及润湿性好的特点，而且与其它金属盐前驱体在丙酸中的配伍性好。因此，选择[（n—C8H17）2NH2]2[W4O13]作为钨盐的前驱体，使我们尝试用化学溶液沉积法制备涂层导体的钨基双钙钛矿薄膜阻隔层成为可能。