一种光学材料高效超精密加工方法

• 作者: 上原嘉宏 大森整 尹韶辉 朱科军 林伟民 陈逢军
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: ELID磨削 磁流变光整加工(MRF) 超精密组合加工 形状精度 表面粗糙度 光学材料
• 年，卷（期）: 2008,（21）
• 所属期刊栏目: 超精密加工
• 页码范围: 2540-2544
• 页数: 5页
• 分类号: TG58
• 字数: 2696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2008.21.006

摘要

提出了结合磁流变光整加工(MRF)与在线电解修整(ELID)磨削对各种光学材料进行超精密加工的方法,即采用ELID磨削进行预抛光以获得高质量表面,然后采用MRF进行精密抛光以进一步减小表面粗糙度和形状误差.利用该组合工艺对BK7玻璃、硅晶玻璃、碳化硅等光学材料进行了超精密加工实验,可以在短时间内使光学材料工件表面得到亚纳米级的表面粗糙度和峰谷值为λ/20(λ为单位波长,λ=632.8nm)的形状精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈逢军	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	43	418	10.0	18.0
2	尹韶辉	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	66	540	12.0	20.0
3	大森整		3	41	2.0	3.0
4	朱科军	湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心	9	153	7.0	9.0
5	上原嘉宏		2	40	2.0	2.0