柱面天线射频感性耦合等离子体放电模式特性的实验研究

• 作者: 丁振峰 孙景超 袁国玉 高巍
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 射频等离子体 感性耦合 容性耦合 模式转化
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 4304-4315
• 页数: 12页
• 字数: 8378字
• 语种: 中文

摘要

利用Z-scan、电流、电压探头,通过测量等离子体吸收功率、天线电流、电压、等离子体直流悬浮电位等多种参数,研究了匹配网络、人线耦合强度、导电地面积、气压等多种因素对E,H放电模式特性及模式转化行为的影响.基于Γ型阻抗匹配网络中串联电容对射频电源输出功率的影响,提出了E-H放电模式转化的正负反馈区概念.研究发现:在相同的其他放电条件下,处于正反馈区时等离子体放电易于产生跳变型模式转化,而且模式跳变的临界天线电流、回滞宽度、跳变临界功率、跳变功率差等参数均随阻抗匹配网络参数产生明显变化;在负反馈区内,模式转化过程趋于连续.山于阻抗匹配网络的影响,E-H模式的跳变电流并不是总大于H-E模式的跳变电流.在小同导电地面积、阻抗匹配网络、气压下,模式转化过程中等离子体直流悬浮电位的变化呈现多样性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁振峰	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	13	32	4.0	4.0
2	袁国玉	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	2	5	2.0	2.0
3	高巍	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	2	5	2.0	2.0
4	孙景超	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	1	3	1.0	1.0