基于复合靶制备Ti-DLC薄膜的研究

• 作者: 严一心 徐均琪 李传志
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 非平衡磁控溅射 钛掺杂 复合靶 正交实验
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 所属期刊栏目: 结构功能材料
• 页码范围: 420-422
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 字数: 2496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2008.z1.128

摘要

利用非平衡磁控溅射技术溅射复合靶制备了一系列掺杂金属元素钛的类金刚石膜,并对薄膜的机械性能、沉积速率、电学性能及化学性能进行了测试,主要分析了影响机械性能、沉积速率的主要参数并确定了最佳工艺参数,同时阐述了其电学性能及化学性能结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐均琪	西安工业大学陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室	87	611	13.0	20.0
2	李传志	西安工业大学陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室	4	9	2.0	3.0
3	严一心	西安工业大学陕西省薄膜技术与光电检测重点实验室	43	232	9.0	12.0