基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究

• 作者: 刘世元 张传维 沈宏伟 顾华勇
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 深沟槽结构 严格耦合波理论 等效介质理论 反射率
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 5996-6001
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.09.105

摘要

利用等效介质理论和严格耦合波理论研究比较微纳米级高深宽比深沟槽结构的红外反射谱,提出一种对等效折射率加入色散修正项的深沟槽结构反射率快速算法.通过超越色散方程分析和大量计算发现,加入的等效折射率色散修正项与波长的平方成反比,并且与深沟槽结构的材料、周期和占空比有关.这种新的计算方法可以非常精确地获得高深宽比深沟槽结构的反射率,而且明显提高了运算速度,在复杂深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量中具有重要的应用价值,可以应用于微电子和微机电系统制造过程中高深宽比微纳深沟槽结构刻蚀进度的在线实时监测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘世元	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	35	363	11.0	17.0
2	张传维	华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室	6	25	3.0	5.0
3	顾华勇	武汉光电国家实验室光电材料与微纳制造研究部	2	7	2.0	2.0
4	沈宏伟	武汉光电国家实验室光电材料与微纳制造研究部	2	7	2.0	2.0