无机非金属材料-应用于射频范围的软磁薄膜研究进展

• 作者: 何华辉 冯则坤 别少伟 江建军
• 来源期刊: 中国学术期刊文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 软磁 薄膜 射频
• 年，卷（期）: 2008,（16）
• 页码范围: 3
• 页数: 1页
• 分类号: TM271.2|TB321
• 语种: 中文

摘要

探讨了获得具有优良高频电磁性能的软磁薄膜的合适工艺条件.指出薄膜的性能主要取决于薄膜的成分、微观组织、磁致伸缩系数、残余应力状态、有无软磁底层、外加磁场溅射沉积和后续磁场热处理等因素.以Fe70Co如为基的软磁薄膜和Fe(Co)-X-N纳米晶软磁薄膜主要应用于要求高饱和磁化强度的器件如磁头中,磁性纳米颗粒膜具有高的电阻率因而趋肤深度较大,有望应用于高频微磁器件如微电感、微变压器的磁芯中.参19(朱盈权)