大功率半导体激光器的腔面钝化

• 作者: 安振峰 家秀云 张世祖 彭海涛 杨红伟 花吉珍 陈宏泰
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体激光器 可靠性 腔面钝化 离子铣 灾变性光学损伤
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 纳米器件与技术
• 页码范围: 591-594
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 1461字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.10.003

摘要

大功率半导体激光器的腔面退化是影响其寿命和可靠性的重要因素,长期以来一直是人们关注和研究的重点.本文利用离子铣结合腔面钝化还原层的方法对大功率半导体激光器的腔面进行处理.结果显示,离子铣腔面钝化能够在一定程度上减少半导体激光器的功率退化,168 h加速老化后退化幅度降低4.5%;同时该技术对老化过程中COD阈值降低有明显的抑制作用,可有效减少使用中的突然失效.结果表明,该技术能够改善半导体激光器的腔面特性,器件的可靠性和使用寿命可望得到提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈宏泰	中国电子科技集团公司第十三研究所	25	102	6.0	8.0
2	花吉珍	中国电子科技集团公司第十三研究所	18	74	5.0	7.0
3	安振峰	中国电子科技集团公司第十三研究所	31	150	7.0	10.0
4	张世祖	中国电子科技集团公司第十三研究所	12	54	5.0	7.0
5	杨红伟	中国电子科技集团公司第十三研究所	23	87	6.0	7.0
6	彭海涛	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	46	4.0	6.0
7	家秀云	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	18	2.0	4.0