一种远程、多点、实时的洁净度监测系统设计

• 作者: 何玉俊 季启政 陈建 顾世红
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 洁净度 监测系统 设计 散射
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 41-44,40
• 页数: 5页
• 分类号: TB97
• 字数: 2040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7202.2009.06.010

摘要

为了满足各类实验室不断提高的洁净度监测实时性要求, 设计了一种可远程控制、可实时监测、可多点监测、可集中显示、可分析数据的洁净度监测系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季启政		32	62	5.0	6.0
2	陈建		10	6	2.0	2.0
3	顾世红		2	2	1.0	1.0
4	何玉俊		1	1	1.0	1.0