金刚石砂轮刀片划切过程性能分析与三维建模

• 作者: 孙家全 袁慧珠 鞠仁忠 马岩
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石砂轮刀片 硅片划切 有限元分析 三维建模
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 页码范围: 74-77
• 页数: 4页
• 分类号: TG74|TQ164
• 字数: 2520字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2009.05.016

摘要

介绍了硅片加工过程中三种划片方法.对金刚石砂轮刀片进行了力学分析,应用有限元分析软件建立了砂轮刀片回转模型,得到了刀片的应力图.通过仿真得到,砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处.并且,应用基于特征的实体造型系统Pro/Engineer,建立了划片机划切过程模拟模型.为进一步基于参数化与智能化的划片机设计打下基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马岩		18	70	5.0	7.0
2	袁慧珠		5	10	2.0	3.0
3	鞠仁忠		2	7	2.0	2.0
4	孙家全		4	10	2.0	3.0