掺杂WO3基丙酮气敏元件的研制

• 作者: 曾庆丰 贺文阳 邓永和
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 丙酮敏感元件 灵敏度 三氧化钨 掺杂剂 电化学 响应与恢复时间
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 微电子器件与技术
• 页码范围: 375-378
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2|TP212.3
• 字数: 2643字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.06.011

摘要

在WO3粉体材料中加入一定质量分数(ω)的掺杂剂(Pt、Pd、PtO2、PdCI2、SnO2、SiO2、AI2O3),于恒温600℃烧结1 h制作成旁热式丙酮气体敏感元件.采用静态电压测量法,研究和分析了不同的加热电压与不同掺杂配方元件灵敏度(β)的关系,进一步分析了掺杂剂对元件的响应与恢复时间的影响.实验结果表明,掺入质量分数为0.5%的Pt粉,在加热功率为600 mW时,丙酮气敏元件的灵敏度提高约8倍,元件的响应时间和恢复时间分别缩短了约60%和88%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓永和	湖南工程学院理学院	36	138	5.0	10.0
2	贺文阳	湖南工程学院理学院	7	18	2.0	4.0
3	曾庆丰	贵州大学理学院	8	21	3.0	4.0