微网气体探测器微结构SPACER的研制

• 作者: 伊福廷 侯凤杰 廖元勋 张菊芳 樊瑞睿 欧阳群 陈元柏
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多丝正比室 微网气体探测器 SU8胶 干膜 丝网
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 419-423
• 页数: 5页
• 分类号: TL814
• 字数: 2461字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.07.013

摘要

在多丝正比室(MWPC)受到严重挑战的形势下,微网气体探测器(micromegas)以其响应时间快、计数能力高的优势而从各种新型的气体探测器中脱颖而出.本文介绍了利用两种方法制作微网气体探测器微结构的工艺,一种是利用准LIGA工艺,以SU8胶为绝缘层;另一种是利用干膜做绝缘层来制作微网气体探测器.对比分析了SU8胶和干膜对于制作微网气体探测器的优劣.实验证明,利用干膜制作的微网气体探测器性能更好.使用放射源55Fe对其能量分辨本领进行了实验研究,结果利用干膜制作的微网气体探测器得到了有效增益,测出了逃逸峰.另外,还分析了使用编织丝网和电铸镍网对微网气体探测器的影响,实验证明,电铸镍网更适合于微网气体探测器的性能要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张菊芳	中国科学院高能物理研究所	21	136	6.0	11.0
2	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0
3	侯凤杰	中国科学院高能物理研究所	3	34	2.0	3.0
4	陈元柏	中国科学院高能物理研究所	18	71	5.0	7.0
5	欧阳群	中国科学院高能物理研究所	11	60	4.0	7.0
6	樊瑞睿	中国科学院高能物理研究所	5	7	2.0	2.0
7	廖元勋	中国科学院高能物理研究所	1	2	1.0	1.0