微波辅助Al2O3陶瓷表面铜金属化研究

• 作者: 刘家臣 吴蔚 汪彩芬 翟宇佳 贾启辉 韩超
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微波 金属化 铜 氧化铝
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 电子陶瓷、陶瓷-金属封接与真空开关管用陶瓷管壳应用专辑
• 页码范围: 72-74
• 页数: 3页
• 分类号: TQ174
• 字数: 1601字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2009.04.020

摘要

选取95Al2O3陶瓷体作为金属化基体,采用Cu粉在微波作用下进行金属化实验,研究了微波功率、处理时间、保护措施和金属化配方对微波金属化质量的影响.对金属化成分和表面结构进行了分析.结果表明,在氧化气氛中,微波3 kW/10 min处理,炭粉埋烧保护和金属化配方添加5%SiC和5%(质量比)C粉的条件下,在95Al2O3陶瓷表面可获得较好的Cu金属化效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘家臣	天津大学材料学院	65	504	15.0	19.0
2	贾启辉	天津大学材料学院	1	3	1.0	1.0
3	吴蔚	天津大学材料学院	1	3	1.0	1.0
4	汪彩芬	天津大学材料学院	1	3	1.0	1.0
5	翟宇佳	天津大学材料学院	1	3	1.0	1.0
6	韩超	天津大学材料学院	4	38	3.0	4.0