环境气氛及气压对增透膜真空激光损伤的影响

• 作者: 凌秀兰 李大伟 李淑红 范正修 赵元安 邵建达
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 增透膜 1-on-1 环境气氛 激光损伤阈值 损伤形貌
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 3055-3059
• 分类号: O484
• 字数: 2278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20093611.3055

摘要

利用1-on-1损伤测试方法,测试了真空和空气、氧气、氮气、氦气环境下在波长为1064 nm处增透膜(ARF)的激光损伤阈值和损伤形貌.结果表明,真空环境下的损伤阈值明显低于大气环境下的损伤阈值,真空环境下的破斑形貌也与大气环境下的破斑形貌有显著差异.在真空环境下存入一定量的氧气、氮气和氦气后薄膜的损伤阈值都得到提高,但存入的气体的种类及气压不同,损伤阈值与破斑形貌也不尽相同.