光学读出红外成像中反光板变形对光学检测灵敏度的影响

• 作者: 伍小平 史海涛 张青川 焦斌斌 程腾 钱剑 陈大鹏 高杰
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷红外成像 双材料微悬臂梁 光学读出 焦平面阵列
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 249-253
• 页数: 5页
• 分类号: TB331|TN216
• 字数: 2595字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2009.04.003

摘要

在刀口滤波光学读出方法的基础上,讨论了反光板弯曲的情况下,刀口滤波方法的光学检测灵敏度与反光板长度之间的关系.分析表明,在反光板曲率半径一定的情况下,光学检测灵敏度首先随着反光板长度的增加而增大,达到最大值后随着反光板长度的增加而减小.对于不同曲率半径和长度的反光板,分析给出反光板长度L和曲率半径R在满足L~2/R=λ(λ为照明光波长)时,光学检测灵敏度达到最大值.实验测量了已制作的像素尺寸分别为200μm,120μm和60μmFPA的光学检测灵敏度,其实验结果和理论分析一致.