VISAR准零程差调试方法研究

• 作者: 何俊华 闫亚东 陈良益 齐文博
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 马赫-曾德干涉仪 准零程差 VISAR
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 所属期刊栏目: 光电系统与工程
• 页码范围: 751-755
• 页数: 5页
• 分类号: TN249
• 字数: 2956字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2082.2009.05.008

摘要

介绍了任意反射面速度干涉仪(VISAR)中马赫-曾德干涉仪必须满足的准零程差条件.根据白光光程差调试精度高但不易相干的特点,提出了先利用激光粗调,再利用白光调试来实现零程差精密调节的方案.详细分析了激光粗调马赫-曾德干涉仪的调试原理、调试精度以及光程差不确定性.针对光程差不确定性,提出了改进的激光粗调方案,将光程差调节精度由毫米量级提高到微米量级,大大减小了白光调试的盲区,使白光精调变得简易可行.干涉仪最终光程差调试精度为1.6 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈良益	中国科学院西安光学精密机械研究所	99	1185	17.0	29.0
2	何俊华	中国科学院西安光学精密机械研究所	83	611	13.0	19.0
3	闫亚东	中国科学院西安光学精密机械研究所	28	117	6.0	9.0
4	齐文博	中国科学院西安光学精密机械研究所	6	17	3.0	4.0