奥氏体不锈钢表面硬质薄膜的制备与性能研究

• 作者: 李合琴 范文宾 邵林飞
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 奥氏体不锈钢 磁控溅射 氮化钛薄膜 氧化铝薄膜 显微硬度
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 227-232
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 2456字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2009.04.007

摘要

用磁控溅射法在奥氏体不锈钢基片上分别制备了TiN薄膜和Al2O3薄膜,并用XRD、SEM和显微硬度等测试手段对沉积态和退火态薄膜进行表征,分析了不同工艺参数对薄膜的沉积速率、结构和性能的影响,从而得到最佳工艺参数.TiN薄膜在沉积气压为1.5 Pa,氩氮比为16:16时薄膜的硬度值最大为16.0 GPa.Al2O3薄膜在沉积气压为0.5 Pa,氩氧比为10:1时薄膜的硬度值可达25.2 GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李合琴	合肥工业大学材料科学与工程学院	71	273	8.0	12.0
2	邵林飞	合肥工业大学材料科学与工程学院	3	21	3.0	3.0
3	范文宾	合肥工业大学材料科学与工程学院	3	21	3.0	3.0