引信MEMS静电探测器阵列设计

• 作者: 崔占忠 徐立新 郝晓辉 陈曦
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 静电探测阵列 引信 电场传感器 有限元法
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 1223-1227
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.06.004

摘要

引信可以利用空中目标运动产生的静电场信息对目标进行探测,而MEMS的特殊性能非常适合于引信静电探测器的设计.在引信有限的体积内布设MEMS静电探测阵列,通过对目标静电场信息进行检测,可以获得目标的位置和速度信息.本文运用表面加工工艺设计了一种MEMS薄膜电极的垂直振动式电场传感器阵列.介绍了该电场传感器探测单元及阵列的结构、组成及工作原理,说明了该器件的加工工艺.通过MEMS静电探测单元的空间布阵,研究了引信MEMS静电探测阵列对目标定位的原理,推导了目标定位的公式,使用MEMS静电探测阵列探测了目标的静电场,实现了对目标位置的定位.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔占忠	北京理工大学机电工程与控制国家重点实验室	100	781	14.0	23.0
2	陈曦	北京理工大学机电工程与控制国家重点实验室	32	206	8.0	12.0
3	徐立新	北京理工大学机电工程与控制国家重点实验室	47	433	11.0	18.0
4	郝晓辉	北京理工大学机电工程与控制国家重点实验室	2	7	2.0	2.0