利用CCD接收激光衍射的方法测量精密缝宽和圆孔直径

• 作者: 杨飒
• 来源期刊: 河北省科学院学报
• 关键词: CCD 激光衍射 精密缝宽 精密圆孔直径
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 页码范围: 13-15
• 页数: 3页
• 分类号: G424.31
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9383.2009.03.005

摘要

用CCD摄像头与图像数据采集系统进行尺寸测量是CCD应用最广泛的领域.本文将通过探究He-Ne激光器对待测物件的衍射形成光斑的原理出发,研究CCD对光斑的接受和处理,最终识别需要的衍射条纹,从而测得精密仪器中的缝宽和精密的圆孔直径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨飒	天津大学精密仪器与光电子工程学院	4	26	3.0	4.0