相位恢复镜面检测性能研究

• 作者: 丁凌艳 吴宇列 李圣怡
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 镜面检测 测量性能 傅立叶光学 相位恢复
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 机电工程
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: O439|TH161
• 字数: 3996字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2486.2009.04.004

摘要

在镜面面形检测中应用相位恢复技术,可以简化测量系统,增强抗震动干扰能力.为确定相位恢复镜面测量系统的性能,从两个方面进行了研究.结合提出的相位恢复测量系统,运用傅立叶光学和几何光学理论讨论硬件对测量范围的限制,确定了CCD像素尺寸与被测镜f数,CCD整体尺寸与被测镜最大像差之间的定量关系.从算法效能角度,采用单因素仿真实验考察算法对镜面误差幅度和频率的适应性.仿真结果表明,表面误差频率在31.4mm附近时算法效率较高,过高或过低都将降低算法的效率;误差幅值的影响不大,镜面误差RMS值大至六个波长,小至百分之波长算法都可以胜任.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李圣怡	国防科技大学机电工程与自动化学院	186	3101	27.0	44.0
2	吴宇列	国防科技大学机电工程与自动化学院	37	318	9.0	16.0
3	丁凌艳	国防科技大学机电工程与自动化学院	3	45	2.0	3.0