微机械音叉谐振器动力学分析与仿真

• 作者: 何晓平 刘恒 张富堂 苏伟
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械电子系统 微谐振器 双端固定音叉 谐振频率 参数模型
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 325-330
• 页数: 6页
• 分类号: TN216
• 字数: 2747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.03.007

摘要

根据双端固定音叉谐振器的动力学原理,建立了其参数模型.该模型基于MAST语言,包含几个子模型,模型有利于验证外围电路和减少计算时间.对于工作谐振模态频率的求解,解析计算和有限元仿真结果一致(相对误差小于1%).通过模态分析和结构参数敏感性分析提出合理的选择参数可以使工作模态频率远离高阶模态频率.减少音叉梁固接端的弹性系数有利于抑制低阶模态的扰动.结构参数敏感性分析表明工作频率随音叉梁长度增大而减小,随其宽度的减小而增大.结构厚度对频率不产生影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘恒	重庆大学通信工程学院	15	110	7.0	10.0
5	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
6	何晓平	中国工程物理研究院电子工程研究所	29	177	8.0	11.0
7	张富堂	中国工程物理研究院电子工程研究所	19	117	7.0	9.0