InSb焦平面探测器背面钝化的研究

• 作者: 傅月秋 王海珍 郑克霖
• 来源期刊: 航空兵器
• 学科: 工学
• 关键词: InSb焦平面探测器 ZnS (NH4)2S 硫化
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 红外与激光技术
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 分类号: TN215
• 字数: 1954字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-5048.2009.04.010

摘要

对N型(111)面的InSb衬底采用两种方法进行钝化处理;一种是直接溅射ZnS, 另一种是先用(NH4 )2S化学硫化, 然后溅射ZnS.C-V测试和器件性能测试表明, 在(NH4)2S溶液中进行化学硫化的方法能有效改善ZnS/InSb的界面, 这种方法能满足InSb焦平面器件的使用性能.本文还对不同的硫化方法及实验条件进行了对比实验.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海珍		11	33	4.0	4.0
2	郑克霖		4	14	2.0	3.0
3	傅月秋		3	6	1.0	2.0