内表面间垂直度的高精度测量方法设计与误差分析

• 作者: 刘景坡 郑子文 陈善勇
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 垂直度测量 内表面 最小二乘 波面干涉仪
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 机电工程
• 页码范围: 36-41
• 页数: 6页
• 分类号: TB92
• 字数: 3586字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2486.2009.04.008

摘要

针对框体类零件超精密加工的难点问题--内表面问垂直度误差的高精度测量,提出了一种基于波面干涉技术测量的新方法,建立了垂直度测量系统,分析了各调整误差对测量结果的影响.该方法能够实现框体类零件内表面间垂直度误差的高精度测量与评价,并能得到误差的三维分布,测量结果可直接用于零件的确定性修形加工.实验表明,该方法可实现0.6"的综合测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑子文	国防科技大学机电工程与自动化学院	18	173	9.0	12.0
2	陈善勇	国防科技大学机电工程与自动化学院	12	131	8.0	11.0
3	刘景坡	国防科技大学机电工程与自动化学院	1	1	1.0	1.0