计算全息法测量长焦透镜面形和焦距

• 作者: 刘华 卢振武 岳巾英 王泰升 许文斌
• 来源期刊: 中国光学与应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 计算全息法 长焦透镜 光学面形检测
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 光学测试
• 页码范围: 502-507
• 分类号: O438.1|TH703
• 字数: 2911字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2009.06.006

摘要

为了同时对长焦透镜的面形和焦距进行高精度检测,提出在Zygo干涉仪的球面光路中加入一个二元衍射元件作为检测件的计算全息法.首先对计算全息法检测长焦透镜的面形和焦距进行了理论推导,并给出焦距误差公式.在Zemax中使用在平面基底上制作的二元衍射元件对一个长焦透镜的面形和焦距进行了模拟检测,其中对该长焦透镜而形的干涉检测PV值为0.003 4λ,对焦距的检测精度为-0.11%.最后详细分析了两类误差对检测结果的影响,其中光学元件的位置误差影响不超过0.1λ;二元衍射元件的制造误差影响约0.01λ,在具体制造过程中,其径向位置误差和台阶误差可分别在2μm和5 nm之内.在综合考虑各项误差的情况下,该方法的检测精度仍然可控制在2λ/25之内.