基于MEMS技术的微型固态拖动力式测风传感器

• 作者: 刘泳宏 庞程 方震 杜利东 赵湛
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 风速风向传感器 MEMS 拖动力 ANSYS 正交封装
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 370-374
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.04.019

摘要

为了获得风速风向的信息,制作了一种拖动力式微型固态测风传感器.它包括两个正交封装的单元,每个单元用来独立地测量风速,含有一个薄平板和两个用来连接平板和硅衬底的短悬梁.由于当风从不同角度吹过传感器时悬梁上的应变不同,因此通过测量单个单元悬梁上的应变值可获得风速值,同时通过正交组装两个测风速单元获得风向值.该传感器在ANSYS软件中进行了模拟,用流体力学进行了分析,并在小型风洞中进行了测试.结果表明在输入电源电压为0.5 V时传感器最大灵敏度高迭60 μV/(m·8-1),风向测量的线性度小于6%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵湛	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	54	723	10.0	26.0
2	杜利东	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	63	104	7.0	8.0
6	庞程	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	3	47	2.0	3.0
10	方震	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	32	605	8.0	24.0
11	刘泳宏	中国科学院电子学研究所传感器国家重点实验室	4	16	2.0	4.0