LCoS平板微显示驱动技术研究

• 作者: 冯亚云 凌志华 夏洋 杜寰 欧毅 王文博 王晓慧 韩郑生 黄苒
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基液晶 平板微显示 镜面电极 遮光层
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TN47
• 语种: 中文

摘要

研究了硅基液晶(LCoS)微显示驱动电路的制备工艺、电路设计、版图绘制以及显示功能测试.采用化学机械抛光(CMP)工艺实现硅片表面平坦化方案,满足了LCoS微显示对表面平整度的要求;合理布设两层金属布线,巧妙实现遮光作用;利用剥离的方法制备Ag反射电极,解决了Ag工艺与标准CMOS集成电路工艺的兼容问题;在硅基片上制作出U形PAD,通过导电胶与公共电极ITO相接.电路设计中采用了对台阶电平计数的办法实现DA转换的功能,既降低了电路设计难度,又方便测试过程中对灰度电平的调整.制备出LCoS微显示驱动面板,实现了QVGA分辨率、16级灰度LCoS、帧频50 HZ的视频显示.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩郑生	中国科学院微电子研究所	122	412	10.0	12.0
2	杜寰	中国科学院微电子研究所	41	108	5.0	6.0
3	夏洋	中国科学院微电子研究所	67	325	9.0	14.0
4	冯亚云	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	20	3.0	4.0
5	凌志华		31	248	8.0	14.0
6	欧毅	中国科学院微电子研究所	17	77	5.0	7.0
7	王文博	中国科学院微电子研究所	24	448	7.0	21.0
8	王晓慧	中国科学院微电子研究所	13	34	4.0	4.0
9	黄苒	中国科学院微电子研究所	7	12	2.0	3.0