激光测头光束质量分析与控制

• 作者: 周力萍 曹益平 曾茜逾
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 光束质量控制 激光三角法 激光测头 高斯光束 位置敏感传感器
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: TH744.5
• 字数: 3026字
• 语种: 中文

摘要

建立了光束质量控制的数学模型,提出了一种可定量评价光束质量的参数优化选择方法.针对激光测头进行了两片式光束质量控制光学系统的优化设计,并与光束聚焦控制、准直控制方法进行对比实验.激光结果证明:该优化光束控制系统在测量范围内既保持了光束的均匀性,光斑尺寸较小(光腰尺寸为34μm),又保证了光束的精细度,有效地抑制了光束质量引入的测量误差,在±5 mm测量范围内,其均方根误差仅为6.3μm,测量精度明显优于聚焦控制和准直控制系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹益平	四川大学光电科学技术系	136	874	15.0	24.0
2	曾茜逾	四川大学光电科学技术系	3	7	2.0	2.0
3	周力萍	四川大学光电科学技术系	3	21	3.0	3.0