压电振子结构参数对微雾化器耦合特性的影响

• 作者: 周兆英 杨明伟
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 医学
• 关键词: 微雾化器 固一液耦合 声压力波 压电振子 微电机系统
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 226-230
• 页数: 5页
• 分类号: TH307|R318.6
• 字数: 2618字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.04.007

摘要

针对微雾化器存在的多能域能量耦合问题,建立了压电微雾化器的固一液-声耦合模型,对其耦合特性进行了数值计算,并着重分析了压电振子结构参数对耦合性的影响,得到了压电振子结构参数对于系统的结构振动、声压力波特性的影响规律.结果表明,由于液体层与固体的耦合作用,压电振子振动的同时,喷孔膜也产生振动,而且两者之问存在相位关系;压电振子的结构参数直接影响结构的耦合性、谐振频率大小以及背膜与喷孔膜的相位差,并且存在最佳的直径比和厚度比.因此,微雾化器设计时只考虑压电振子的振幅是不全面的,必须同时考虑喷孔膜的振动以及与背膜的相位关系,新的设计原则可为微雾化器的优化设计提供指导依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密仪器与机械学系	205	3706	31.0	54.0
2	杨明伟	清华大学精密仪器与机械学系	3	26	3.0	3.0