半导体及平板显示制造业中的空气非接触搬运技术

• 作者: 彭光正 杨玉贵 王涛
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 空气非接触搬运技术 半导体 液晶显示面板 制造装备
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 器件制备技术及器件物理
• 页码范围: 404-408
• 页数: 5页
• 分类号: TP211+.32|TM285
• 字数: 3876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2009.03.016

摘要

介绍了空气非接触搬运技术的优越性、发展现状及其在半导体器件和平板显示制造业中的应用.阐述了空气悬浮和吸浮式非接触技术的原理,讨论了空气非接触搬运技术中存在的关键问题及解决方案,分析了该技术的发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭光正	北京理工大学自动化学院	66	847	18.0	25.0
2	王涛	北京理工大学自动化学院	66	449	12.0	16.0