表面功能特性分形分析

• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面计量学 分形分析 接触参数 结构功能
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 142-146
• 页数: 5页
• 分类号: TH161
• 语种: 中文

摘要

表面分形分析已开展多年,虽然在涉及制造过程控制方面时出现过一些争论,但已获得了许多有意义的结果.与此同时,用分形来研究表面功能特性所取得的进展有限,其原因之一是,以前分形的重点在于功率谱,而不是对于空间更为敏感的自相关函数.基于此,笔者首次将分形参数引入到基于自相关系数的表面功能参数.进展有限的另一原因是,与表面功能相关的许多确定性实验没有将分形参数包含在参数集中,这主要是由于过去没有能够给出分形参数的表面光洁度仪器,从而失去了确定分形参数价值的可能性.文中提出了一种新的、简单的测量分形特性的方法,它不仅能够利用现有仪器,而且可以从已进行的测量中根据已有的数据快速评定分形特性.