基于单片机的四探针测试系统的研制

• 作者: 孙以材 常涛 潘国峰
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 四探针测试技术 微区薄层电阻 改进Rymaszewski法 数控恒流源
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 产品特写
• 页码范围: 52-56,47
• 页数: 6页
• 分类号: TP274
• 字数: 4275字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2009.02.011

摘要

利用改进的Rymaszewski法自动消除探针纵向游移影响的优点,将它应用于斜置式方形探针测试法中;在斜置式方形四探针机械平台的基础上,完成了整个测试电路的硬件设计和软件编程,研制出一台具有输出高精度高稳定性恒流源的斜置式方形探针分析仪.该系统是基于单片机的智能化控制系统,实现了10μA～1mA、步长为10μA的高精度数字控制恒流源,具有较高精度的电压测量电路,并能和上位机PC进行RS-232串口通讯.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙以材	河北工业大学微电子所	117	1247	18.0	31.0
2	潘国峰	河北工业大学微电子所	70	462	10.0	18.0
3	常涛	河北工业大学微电子研究所	2	3	1.0	1.0