氧化锌铝（ZAO）靶材的制备及性能研究

• 作者: 李强 杨晓峰 蒋春丽 邓广平 鲜晓斌
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: ZAO靶材 冷等静压 热等静压 致密性
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 350-352
• 页数: 3页
• 分类号: TB43

摘要

采用冷等静压成型（CIP）、低真空烧结和热等静压（HIP）烧结技术制备ZAO靶材，采用排水法、SEM、XRD、光谱发射法（ICPOES）分析了2种烧结方法制备的ZAO靶材的密度、结晶状态和组织成分。结果表明，ZAO细粉经压力造粒后，CIP成型压坯相对密度可达75％以上，该压坯经低真空高温烧结，相对密度达到95％，而采用HIP低温烧结的靶材可达到98％以上，靶材结晶完整，组织成分均匀。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲜晓斌		47	280	10.0	12.0
2	李强		54	152	8.0	10.0
3	蒋春丽		15	67	6.0	7.0
4	邓广平		6	12	2.0	3.0
5	杨晓峰		8	17	3.0	4.0